特种气体是指用工艺(例如深冷,变压吸附等)制造出来的各种气体。在纯度、品种、性能、用途等方面都是严格按照一定规格进行生产和使用的。
近年来,随着下游应用领域的逐步扩展,特种气体的品种也与日俱增,据不完全统计,现有单元特种气体达260种左右,特种气体已成为高科技应用领域不可缺少的基本原料。特种单一气体有260种,其中电子气体114种(实际常用的约44种),**气体65种,无机气体35种,卤碳素气体29种,同位素气体17种。
特种气体是指在特定领域中应用的对纯度、品种、性质有要求的气体,随着*工业、科学研究、自动化技术、精密检测(特别是微电子技术)的发展,特种气体成为工业气体市场规模增长新动力,广泛应用于半导体、LED、光纤光缆、等新兴行业。
特种气体指那些在特域中应用的, 对气体有要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体门类繁多, 通常可区分为电子气体、标准气、环保气、气、焊接气、杀菌气等, 广泛用于电子、电力、石油化工、采矿、钢铁、有色金属冶炼、热力工程、生化、环境监测、研究及诊断、食品保鲜等领域。
特种气体的分类方式很多种,例如按照气体本身化学成分可分为:硅系、系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积(CVD)用气体、载运稀释气体七类。同时,以类存在交叉,例如四氯化硅(SiCl4)既属于硅系气体,又属于外延气体,同时在化学气相沉积(CVD)中也存在应用。
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