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六氟化硫是一种无机化合物,化学式为SF6,常温常压下为无色无臭无毒不燃的稳定气体,分子量为146.055,在20℃和0.1 MPa时密度为6.0886kg/m3,约为空气密度的5倍,六氟化硫分子结构呈八面体排布,键合距离小、键合能高,因此其稳定性很高,在温度不**过180℃时,它与电气结构材料的相容性和氮气相似。
六氟化硫多用作电子设备、波导、粒子加速仪器、变压器、避雷器等的气绝缘体,制冷剂,示踪装置,医学,半导体制造中的蚀刻、化学相淀积、标准气,检漏气体,色谱仪的载气。
六氟化硫在药理上是惰性气体,低毒但对人体有窒息作用。在生活或使用过程中会分解一些痕量的有毒硫的低氟化合物和氟氧化合物。
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