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六氟化硫为无色、无味、不燃烧,无电抗性的、相对无毒、仅有窒息性的液化气体。液化瓶装气体,压力为其蒸气压;六氟化硫以其良好的绝缘性能和灭弧性能,被广泛应用于电器工业,如:断路器、高压开关、高压变压器、气封闭组合电容器、高压传输线、互感器等。
六氟化硫在药理上是惰性气体,低毒但对人体有窒息作用。在生活或使用过程中会分解一些痕量的有毒硫的低氟化合物和氟氧化合物。
六氟化硫常用作清洁气体和蚀刻气体,在光导纤维的生产过程中,也常用六氟化硫作为单膜光纤隔离层掺杂剂。在大气污染监测和水文地质检测领域,常用六氟化硫作为示踪剂。
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