六氟化硫是一种无机化合物,化学式为SF6,常温常压下为无色无臭无毒不燃的稳定气体,分子量为146.055,在20℃和0.1 MPa时密度为6.0886kg/m3,约为空气密度的5倍,六氟化硫分子结构呈八面体排布,键合距离小、键合能高,因此其稳定性很高,在温度不**过180℃时,它与电气结构材料的相容性和氮气相似。
我国规定,操作间空气中六氟化硫气体的允许浓度不大于6g/m3或空气中氧含量应大于18%;短期接触,空气中六氟化硫气体的允许浓度不大于7.5g/m3。
六氟化硫多用作电子设备、波导、粒子加速仪器、变压器、避雷器等的气绝缘体,制冷剂,示踪装置,医学,半导体制造中的蚀刻、化学相淀积、标准气,检漏气体,色谱仪的载气。
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