六氟化硫被大量应用于微电子技术领域。随着当今科技的发展,SF6涉及的领域不断扩展,被越来越多的基础领域和科技领域广泛应用,在制冷行业,用六氟化硫做制冷剂,致冷范围可在-45℃~0℃之间。
六氟化硫在药理上是惰性气体,低毒但对人体有窒息作用。在生活或使用过程中会分解一些痕量的有毒硫的低氟化合物和氟氧化合物。
六氟化硫多用作电子设备、波导、粒子加速仪器、变压器、避雷器等的气绝缘体,制冷剂,示踪装置,医学,半导体制造中的蚀刻、化学相淀积、标准气,检漏气体,色谱仪的载气。
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