特种气体的分类方式很多种，例如按照气体本身化学成分可分为：硅系、系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积（CVD）用气体、载运稀释气体七类。同时，以类存在交叉，例如四氯化硅（SiCl4）既属于硅系气体，又属于外延气体，同时在化学气相沉积(CVD)中也存在应用。
特种气体泄漏处理：
1、有气体泄漏时，要确定泄漏处并制止泄漏；
2、处理有毒气体时，—定要戴面罩、手套等防护用具；
3、不能制止气体泄漏时：
1)应根据情况，把车辆转移到安全地点。
2)附近要禁止动火。
3)气体着火时，要根据情况灭火。
4)有毒气体泄漏时，要做漏体的除害处理。
5)灭火困难或制止不住有毒气体泄漏时，要通知消防队，JC所，地区防灾事业所、工厂，销售店。
6)要疏散附近的人员，同时禁止行人来往，不让靠近。
7)应根据情况，躲避到安全地点。
特种气体是指在特定领域中应用的对纯度、品种、性质有要求的气体，随着*工业、科学研究、自动化技术、精密检测（特别是微电子技术）的发展，特种气体成为工业气体市场规模增长新动力，广泛应用于半导体、LED、光纤光缆、等新兴行业。
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