六氟化硫（SF6）作为一种广泛运用的绝缘介质，它的使用也存在一些问题。SF6作为一种绝缘介质，和气体的湿度，也就是微水含量有着密切的关系。

SF6在电弧电晕的作用下，可与水发生化学反应生成强腐蚀物质HF和剧毒的氟化物，危及设备及人员的安全，严重时可能出现爆炸事故。

当设备内SF6气体的湿度过高，水分以液态存在于绝缘件表面时，就会降低绝缘件表面的放电电压，也就降低了设备的内绝缘。

运行中设备的绝缘除了主要和湿度有关外，还和其他参数如温度，压强等有关。而在不同的压强下测得的同样的湿度值，设备的绝缘水平也是不一样的。

气体微水测试的标准主要有一下两种：

六氟化硫气体微水测试的标准（20℃，0.1013MPa）

① 断路器灭弧室气室：新充气后不大于150ppm，运行中不大于300ppm；

② 无电弧分解物气室：新充气后不大于250ppm，运行中不大于500ppm。